走進企業智能控制中心。人民網記者 張雋攝

在晶瑞（湖北）微電子材料有限公司的生產廠區，一輛輛裝載電子級雙氧水的罐車正整裝待發。這些看似普通的液體，實則是芯片制造不可或缺的“血液”，承擔著晶圓表面清洗、雜質去除等關鍵使命，是芯片制造的幕后“超級清潔工”。

“生產一瓶符合芯片制造要求的超淨高純雙氧水，難度堪比在針尖上跳舞。”該公司總經理沈健用這個比喻道出了技術難度。傳統雙氧水生產工藝無法滿足芯片制造對純度G5的苛刻要求。面對這一難題，該公司創新採用多孔樹脂吸附技術。“這就好比給雙氧水准備了一塊神奇的‘淨化海綿’，再搭配七級純化工藝，雜質在這樣層層遞進的淨化過程中被逐一去除，從而讓雙氧水達到芯片生產所需的超高純度標准。”

走進企業智能控制中心，大屏幕上跳動的數據揭示著生產的奧秘。“這套‘智慧中樞’可厲害了，產品的穩定性都靠它了。”沈健指著屏幕向記者介紹，它通過數百個傳感器實時監測生產數據，一旦有機物或離子濃度出現波動，系統會自動調整流速、修正參數，讓產能提升的同時保証產品的穩定性。

目前，晶瑞的電子級雙氧水年產可達10萬噸，已佔據國內50%的市場份額。

實驗室工程師正在做分析檢測。人民網記者 王郭驥攝

“芯”火燎原。在潛江，除了晶瑞的電子級雙氧水，中巨芯的電子級硫酸、達諾爾的電子級異丙醇同樣表現卓越，不僅完成了G5品質的穩定量產，更是實現了G5pro、G6品質的定制，讓高端芯片生產用上了國產“純淨水”，打破了國外在相關領域的技術壟斷。

當前，在潛江，微電子材料產業“磁吸效應”顯現，北旭電子、鼎龍控股、孚諾林、中巨芯、達諾爾等一批微電子材料企業加速集聚。它們的產品覆蓋濕電子化學品、光刻膠材料等關鍵領域，與京東方、華星光電、天馬微電子等行業巨頭形成配套產業鏈，填補了湖北省在高端電子化學品領域的空白。（周雯、張雋、張沛、王郭驥）

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